电极的产品性能
多晶硅生产中还原炉(氢化炉)电极,是一种中空高纯水冷却能耐很大电流(有进出口冷却水管接口),材料为无氧铜高导电率、高强度、高弹性模量。顶部为锥体与石墨件配合,配合面积>80%,以避免接触电阻过大而产生局部高温。炉体内的电极部分表面镀纯银防止腐蚀或避免多晶硅的纯度收到污染。
比 重 g/cm3 8.70
抗拉强度 kgf/mm2 133~155
屈服强度 kgf/mm2 116~145
疲劳强度 kgf/mm2 32~35
延 伸 率 % 1~6
硬 度 H Rockwell 36~42
导 电 率 % 18.2
导 热 率 cal/(cm.s.℃) 0.25
工作电流 A 3200
设计电流 A 4500
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多晶硅氢化炉电极介绍